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什么是MEMS传感器? MEMS传感器设计,制造,和市场前景

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    芯片 百科
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    微机电系统(Microelectromechanical Systems,简称 MEMS)是将微电子技术与精密机械技术结合发展出来的工程技术,尺寸在 1 微米到 100 微米量级,涵盖机械(移动、旋转)、光学、电子(开关、计算)、热学、生物等功能结构,主要分为传感器、致动器、三维结构器件等三大类。与
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