上海微电子归档 - 爱芯问答网

光上

上海微电子

上海微电子装备有限公司坐落于张江高科技园区内，邻近…

（注：光刻原理示意图，来源：科普中国）

光刻机

光刻机（Mask Aligner) ，又名掩模对准…