中国不可能生产出EUV极紫外光光刻机，但可以利用日本尼康NSR-S635E光刻机实现中芯国际正在研发的7nm工艺 学究 17 12 月, 2022 晶圆制造 0 Comments 中国的光刻机在现有技术路径下，在非EUV光源领域（…
