THERMCO型卧式高温扩散炉管
| 2008-10-31 | |
| 技术档案 | THERMCO高温炉管操作手册等两本资料 |
| 最近检修时间 | 2021年8月 |
| 技术指标 | 温度200～12000C，精度+-10C |
| 技术状态 | 良好 |
| 使用环境 | 无尘洁净车间 |
| 运行状况 | 按额定功率运行 |
| 工作状态 | 正常运行 |
| 整机最大化价值（4个ID合为1台炉管设备整机，每2台/8个ID 共用1组控制柜) | 同类型设备8台：
BDALY02完整设备，可调试； BDFLW04完整设备，可调试； BDSOX03热线设备，使用中； TBD完整设备，可调试； BDDIV13可调试； BDDIV14可调试； BDALY03可调试； BDPOX08可调试 |
Thermco Systems 于 1962 年在加利福尼亚州奥兰治县成立，是扩散炉的先驱。凭借超过 55 年的经验，Thermco 拥有世界上最大的水平扩散炉安装基地。快速扩张，我们的增长现在得到了我们在英国总部、美国和中国的制造设施的支持。
我们深厚的经验和广泛的工艺知识使我们能够设计高效的热处理系统，提供最长的正常运行时间、快速的吞吐量和最低的拥有成本。
Thermco 不断创新，为卧式和立式炉提供新的解决方案，包括全盒式到盒式自动化、新设计的控制板、气体扩散柜、化学湿工作台和先进的下一代向后兼容控制系统。
总部位于英国，位于伦敦南部的 A24 公路上，我们在华盛顿的工厂设计和制造我们的产品。
我们公司靠近伦敦市中心和首都的主要机场；希思罗机场、盖特威克机场和斯坦斯特德机场。
我们按照最高标准设计和制造所有产品，提供高正常运行时间、快速吞吐量和卓越的拥有成本。
扩散炉和 LPCVD 炉
Thermco Systems 被公认为世界领先的卧式 LPCVD 和扩散炉供应商。建立在具有智能控制系统的成熟平台上，提供卓越的过程性能和更高的生产力。 50 多年来为我们的客户提供解决方案
CSD EPIPRO 系列硅外延反应器和沉积解决方案
EpiPro 系列系统可满足行业对使用外延反应器进行外延处理的高吞吐量处理和低拥有成本的需求。
双工位批量硅外延沉积解决方案旨在满足当今苛刻的生产要求，提供手动装载/卸载和全自动晶圆处理解决方案。
将领先的技术、工艺能力与经过现场验证的能力相结合。
全自动，半自动和手动湿装备
Thermco 设计和制造用于半导体和相关电子制造工艺的全系列湿式工作台。从简单的手动独立研发应用程序，到通过 SECS/GEM 连接到晶圆厂主机的全自动生产湿工作台。
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