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为什么荷兰ASML不敢拒绝美国禁令,对华出口EUV光刻机?

众所周知,荷兰ASML是全球最牛逼的光刻机制造商(14nm以下市占率100%)。在美国对中国实施半导体产业封锁的过程中,荷兰ASML也成为了美国的帮凶。2019年,中芯国际向ASML订购的一台EUV光刻机至今都没有收到货。

要说ASML敢公然违背美国对华的芯片封锁令,他真的没有这个胆。ASML虽然是一家荷兰光刻机制造商,但是它最尖端的EUV光刻机的核心光源技术来自于美国Cymer公司,中文名为西盟半导体设备有限公司。

ASML光刻机技术来源 - 美国Cymer公司是全球唯一一家极紫外光源供应商
ASML光刻机技术来源 – 美国Cymer公司是全球唯一一家极紫外光源供应商

对于光刻机而言,最核心的技术就是光源。没有光源,半导体光刻技术就是无源之水,无本之木。美国Cymer公司是全球唯一一家极紫外光源供应商。只要Cymer公司切断极紫外光源供应,ASML的EDU光刻机就造不出来了。

高端芯片ASML卡着光刻机的脖子,ASML光刻机则被美国卡着极紫外光源技术的脖子。美国用一套长臂管辖的连招,隔山打牛,也就卡住了中国的脖子。

美国Cymer公司是全球唯一一家极紫外光源供应商
美国Cymer公司是全球唯一一家极紫外光源供应商

到今天,中国很多网友还分不清EUV光刻机和DUV光刻机的区别。二者最大的不同在于,EUV光刻机采用的是极紫外光源,可以用来量产14纳米以下的高端芯片。DUV光刻机采用的是深紫外光源,它的极限是量产28纳米中低端芯片

光刻机迭代流程
光刻机迭代流程

荷兰ASML公司拒绝美国禁令,计划对中国出口的是DUV光刻机,并非是最尖端的EUV光刻机

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