尼康株式会社(日语:株式会社ニコン,英语:Nikon),是一家日本大型光学仪器制造商,也是三菱集团的关系企业之一。“Nikon”此企业名称,为原始之商号“日本光学工业”(NIPPON KOGAKU K.K.)各取前段日文发音的略缩语。
- 日本尼康
尼康一直致力于光学和影像产品的研究开发,其产品包括照相机、相机镜头、集成电路制造设备、液晶制造设备、望远镜、显微镜、投影机、眼镜和测量仪器。到2013年3月为止,公司共有24,047名雇员。公司总部位于日本东京港区港南,而照相机相关业务与服务中心位于日本东京品川区西大井。
尼康光刻机
尼康在上世纪末是当之无愧的光刻机巨头,从 80 年代后期至本世纪初,尼康光刻机市场占有率超50%,代表着当时光刻机的最高水平。这点从尼康官网半导体光刻系统历史发展也可以看出,1980年出货 NSR-1010G(分辨率:1.0 µm),从1984年开始,几乎每年都会出货至少1款光刻机。
到了1999年,除了推出世界第一台干式ArF扫描仪NSR-S302A(分辨率≦180 nm)外,尼康还推出了NSR-SF100(分辨率≦400nm);NSR-S204B(分辨率≦150nm);NSR-2205i14E2(分辨率≦350nm);NSR-S305B(分辨率≦110nm)四款设备,销售的半导体光刻系统数量达到 6,000 台。
那时候尼康的光辉事迹密密麻麻可以写满了好几页,不过,和佳能一样,本世纪初的那场干湿路线之争成为了转折点。如今的尼康虽然凭借多年技术积累位居光刻机二线供应商地位,但份额已经极大的缩小了。2021年度,Nikon光刻机业务营收约112亿元人民币,出货了29台集成电路用光刻机,较2020年减少4台。
目前,在光刻机技术方面,尼康主推ArF浸没式技术,大部分精力都在Arf和i-line光刻机领域。ArF光刻机也就是DUV光刻机,光源波长达到193nm,波长的限制使得DUV无法实现更高的分辨率,因此DUV只能用于制造7nm及以上制程的芯片。
不过这也说明了,相比佳能,尼康的光刻机更先进一点。虽然DUV光刻机也是ASML的专场,但尼康仍然有野心追赶ASML,专注于研发ArF液浸。尼康官网提到下一代光刻系统是这么说的:随着小型化的进展,达到了阻止现有光刻技术处理较小尺寸的理论障碍,这个问题的解决方案是浸入式光刻技术,尼康将其整合到其半导体光刻系统中。
尼康常务执行董事滨谷正人曾断言,“ArF液浸作为尖端曝光装置使用的电路尺寸是主战场”。2018年,尼康推出了NSR-S635E ArF 浸没式扫描仪,该光刻机专为5nm工艺制程量产而开发,确保出色的聚焦稳定性并最大限度地减少缺陷以提高产量,以每小时高达 275 个晶圆的超高通量优化可负担性。
- 日本尼康光刻机介绍
到了2021年10月,尼康宣布开发NSR-S635E进阶版——NSR-S636E ArF 浸没式扫描仪,将提供卓越的覆盖精度和超高吞吐量,以支持最关键的半导体设备的制造,预计将于 2023 年开始销售。虽然尼康并未公布S636E更多的参数,但是作为NSR-S635E进阶版,量产5nm芯片应该不在话下。
同佳能一样,在芯片热潮的带动下,尼康对光刻机业绩也给了很大的期望。今年3月,尼康发布了2022年度半导体曝光装置销量,预计将超过2019年度的业绩45台,将比2021年度的预测上增加13台以上,达近10年最高销量。此外,尼康今后将以物联网的发展为背景,建设半导体新工厂,预计到2024年度为止,销售台数都将保持稳定。
结合尼康下一代光刻机的推出时间,我们可以期待两年后的尼康会有怎样的变化。
没有技术封锁,为何日本尼康、佳能也造不出EUV光刻机?
目前全球唯一能够制造EUV光刻机的厂商,只有一家,那就是荷兰的ASML。
但事实上,全球的光刻机厂商不只ASML一家,仅日本就有两家,分别是尼康、佳能。
这两家还是大名鼎鼎,在ASML刚诞生时,尼康、佳能可是大哥,ASML是小弟,只能仰望着尼康、佳能。
直到后来,ASML在台积电的启发下,研制出了以水为介质的浸润式光刻机,才一路崛起,最后把尼康、佳能踩在了脚下。
后来ASML搞出了EUV光刻机后,尼康、佳能也就只搞些中、低端光刻机,不再与ASML争锋了。
这让很多人很奇怪,论技术实力,资金实力,尼康、佳能不会比ASML差,更关键的是尼康、佳能也没有被技术封锁,为何就是搞不出EUV光刻机呢?
其实主要有两个原因,一个是事实上的技术垄断。
虽然尼康、佳能没有被技术封锁,似乎想要买什么设备、需要什么样的技术,都可以得到,但ASML早做了大量的准备,将蔡司、Cymer、TRUMPF这些核心技术公司,通过合作、独家供应,成立科技机构等手段,捆绑在了一起。
尼康、佳能其实很难拿到蔡司、Cymer、TRUMPF公司的技术等,这就造成了事实上的垄断,尼康、佳能也没办法,毕竟EUV光刻机,不是一家厂商或者几家厂商可以搞定。
另外一个是市场大小决定的。
EUV光刻机看起来非常重要,但其实际市场需求并不大,以ASML为例,2021年也仅卖出42台EUV光刻机,从EUV光刻机推出到2021年底,已经有7年,但一共也只卖出132台EUV光刻机。
市场需求就在这里,决定了整个EUV光刻机的利润也只有这么大,一这ASML还能够活得滋润,但如果尼康、佳能都搞出了EUV光刻机,三家厂商竞争,估计大家都赚不到什么钱了。
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